Presentation Information
[S4.5]Rapid and wide-area crystallization of amorphous germanium film by irradiation of low-energy electron beam
*Ryusuke NAKAMURA1 (1. The University of Shiga Prefecture)
Keywords:
電子励起効果,アモルファスゲルマニウム,結晶化
SEM級の弱い電子ビームの照射によりアモルファスゲルマニウムは瞬間的かつ広域に結晶化する．この特有の結晶化に関する最近の研究を紹介する．