日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
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2023年3月7日 (火)
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13:00 〜 13:40
[S4.5]
[基調講演]弱い電子ビームの照射によるアモルファスゲルマニウム薄膜の瞬間かつ広域結晶化
*仲村 龍介
1
(1. 滋賀県立大学)
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キーワード:
電子励起効果、アモルファスゲルマニウム、結晶化
SEM級の弱い電子ビームの照射によりアモルファスゲルマニウムは瞬間的かつ広域に結晶化する.この特有の結晶化に関する最近の研究を紹介する.
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