Presentation Information
[P79]Crystallization and Characterization of Ge Thin Films Fabricated by MIC Method Using Ag as Catalyst
*Kota CHO1, Yuta ASANO1, Kentaro KYUNO1,2 (1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT Center for Generation Semiconductor Human Resources)
Keywords:
半導体,低温結晶,薄膜トランジスタ,MIC法,金属誘起結晶化法
薄膜トランジスタ（TFT）のチャンネル層にGeが注目され、低温結晶化によりフレキシブルデバイスへの応用が期待される。逆積層のMIC法を用い、AgとGeの膜厚の影響を調査した。