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[S9.12][Keynote Lecture] Present Status and Prospects of DX-Oriented Measurement in NanoTerasu

*Tetsuya NAKAMURA1,2 (1. 東北大学SRIS、2. 光科学イノベーションセンター)

Keywords:

DX志向計測,磁区観察,NanoTerasu

今年4月に供用開始となったNanoTerasuにおいて、走査型軟X線顕微鏡による磁区観察も利用開始となった。データ取得の高速化に向けた技術開発を開始しており、主にその状況と今後の計画について紹介する。