講演情報

[S9.12][基調講演] NanoTerasuにおけるDX志向計測の状況と展望

*中村 哲也1,2 (1. 東北大学SRIS、2. 光科学イノベーションセンター)

キーワード:

DX志向計測、磁区観察、NanoTerasu

今年4月に供用開始となったNanoTerasuにおいて、走査型軟X線顕微鏡による磁区観察も利用開始となった。データ取得の高速化に向けた技術開発を開始しており、主にその状況と今後の計画について紹介する。