日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
[P1]The change in crystalline structure, magnetic, and electrical properties due to thermal treatment in W/CoFeB thin films
*SHOGO SUGIMINE1, NOBUKI TEZUKA2, MASASHI MATSUURA2, SATOSHI SUGIMOTO2(1. Tohoku Univ., 2. Tohoku Univ.)
大きなスピンホール角を持つβ-Wは準安定構造でありメモリ作製時の配線工程で行われる熱処理による特性変化が懸念される.そこでβ-Wの熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化について調べたので報告する.