日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス
[P1]W/CoFeB薄膜における熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化
*杉峰 正悟1、手束 展規2、松浦 昌志2、杉本 諭2(1. 東北大工(院生)、2. 東北大工)
キーワード：
Tungsten、Spintronics、Annealing
大きなスピンホール角を持つβ-Wは準安定構造でありメモリ作製時の配線工程で行われる熱処理による特性変化が懸念される.そこでβ-Wの熱処理による結晶構造と磁気・電気伝導特性の変化について調べたので報告する.