日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
[P102]Crystallization and electrical properties of Ge thin films with AuSb and Au by annealing
*yang chunxiang1, kyuno kentaro1,2(1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electrouies)
AuSbを触媒としてGe薄膜の結晶化を試みた、3nmのAuSb膜厚,190℃の低温でGe薄膜の結晶化に成功した。