日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会
Mar 12 - Mar 19, 2024東京理科大学葛飾キャンパス
[P103]Fabrication and electrical characteristics of polycrystalline Ge thin films by MIC using Ag catalyst
*Yuto WATABE1, Kazuya KOBAYASHI1, Kentarou KYUNO1,2(1. Shibaura Institute of Technology, 2. SIT International Research Center for Green Electronics)
本研究ではAgを触媒としたMIC法により低温で多結晶Ge薄膜を作製を試み，作製した薄膜の成膜プロセスとトランジスタ特性を調べた．