日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会

日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会

2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス
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公益社団法人 日本金属学会
日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会

日本金属学会2024年春期(第174回)講演大会

2024年3月12日〜3月19日東京理科大学葛飾キャンパス

[P103]Ag触媒を用いたMIC法による多結晶Ge薄膜の成膜プロセスおよび電気特性

*渡部 祐大1、小林 和矢1、弓野 健太郎1,2(1. 芝浦工業大学、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：

半導体薄膜、Ge、層交換

本研究ではAgを触媒としたMIC法により低温で多結晶Ge薄膜を作製を試み，作製した薄膜の成膜プロセスとトランジスタ特性を調べた．
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