[P] P19~P28

2:00 PM - 3:30 PM JST(5:00 AM - 6:30 AM UTC)

[P28] Research on the electron irradiation-electronic excitation induced crystallization of Pt-Si amorphous phase/SiOx specimens
by network tele-microscopy

*Daichi YAMAGUCHI¹, Koh YAMAMOTO¹, Takeshi NAGASE¹, Michiru YAMASHITA², Kazuhisa SATO³, Ryuji NISHI⁴, Satoshi ICHIKAWA³ (1. University of Hyogo, 2. Hyogo Prefectural Institute of Technology, 3. Osaka University, 4. Fukui University of Technology)

Keywords:

電子顕微鏡,電子励起,アモルファス相,結晶化

Network tele-microscopy を利用した(Pt-Si アモルファス相)/SiOx 界面における電子励起誘起結晶化現象の研究について報告する