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[P28]Network tele-microscopy を利用した(Pt-Si アモルファス相)/SiOx 界面における電子励起誘起結晶化現象の研究

*山口 大智1、山本 航1、永瀬 丈嗣1、山下 満2、佐藤 和久3、西 竜治4、市川 聡3 (1. 兵庫県立大学、2. 兵庫県立工業技術センター、3. 大阪大学、4. 福井工業大学)

キーワード:

電子顕微鏡、電子励起、アモルファス相、結晶化

Network tele-microscopy を利用した(Pt-Si アモルファス相)/SiOx 界面における電子励起誘起結晶化現象の研究について報告する