Presentation Information
[P39]Exploration of Gap-control Methods in Fabrication of Discrete Nanocolumnar InN Films by Glancing-angle Reactive Evaporation
*Watanabe Masaki1, Inoue Yasushi1, Nishio Mayuki2, Takai Osamu1 (1. 千葉工大、2. 関東学院大)
Keywords:
InN薄膜,斜入射堆積法,空隙制御,蒸着
窒化インジウムはエレクトロクロミック(EC)材料である．他のEC材料と比較して色変化の速度が速い．しかしその速度を決定する要因はわかっていない．本研究では，様々な方法をで空隙を制御する方法を探索した．