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[S4.6]Evaluating the effects of roughness in nanoindentation tests on GaN single crystal

*Hiroto OGURI1, Yan LI2, Ai OSAKA3, Azusa HATTORI4, Atsutomo NAKAMURA2 (1. Osaka University, 2. Osaka University, 3. University of Hyogo, 4. Osaka University)

Keywords:

ナノインデンテーション,表面粗さ,GaN,Pop-in

異なる表面処理から得られた、表面粗さの異なるGaN単結晶の(0001)面に対してナノインデンテーション試験を実施した。表面の凹凸により、ポップイン現象の幅および発生荷重が小さくなることを見出した。