Presentation Information
[S4.6]Evaluating the effects of roughness in nanoindentation tests on GaN single crystal
*Hiroto OGURI1, Yan LI2, Ai OSAKA3, Azusa HATTORI4, Atsutomo NAKAMURA2 (1. Osaka University, 2. Osaka University, 3. University of Hyogo, 4. Osaka University)
Keywords:
ナノインデンテーション,表面粗さ,GaN,Pop-in
異なる表面処理から得られた、表面粗さの異なるGaN単結晶の(0001)面に対してナノインデンテーション試験を実施した。表面の凹凸により、ポップイン現象の幅および発生荷重が小さくなることを見出した。
