講演情報
[S4.6]窒化ガリウム(0001)基板を用いたナノインデンテーション試験における表面平滑性の影響評価
*大栗 洋人1、李 燕2、大坂 藍3、服部 梓4、中村 篤智2 (1. 大阪大基礎工（院生）、2. 大阪大基礎工、3. 兵庫県立大工、4. 大阪大産研)
キーワード：
ナノインデンテーション、表面粗さ、GaN、Pop-in
異なる表面処理から得られた、表面粗さの異なるGaN単結晶の(0001)面に対してナノインデンテーション試験を実施した。表面の凹凸により、ポップイン現象の幅および発生荷重が小さくなることを見出した。