[P] P1~P9

[P8] Study on the initial stage of crystallization of Ge thin films using MIC method

*Akira MORISHIMA¹, Kentaro KYUNO¹ (1. Shibaura Inst. of Technol.)

Keywords:

半導体デバイス,薄膜,MIC法

本研究ではAuを金属触媒としてMIC法を用いて, 結晶化の初期段階におけるGe結晶を作製し, MIC法による結晶成長の機構を解明した.