[P] P1~P9

[P8] MIC法によるGe薄膜の結晶化の初期過程に関する研究

*森嶋 晶¹、弓野 健太郎¹ (1. 芝浦工大)

キーワード：

半導体デバイス、薄膜、MIC法

本研究ではAuを金属触媒としてMIC法を用いて, 結晶化の初期段階におけるGe結晶を作製し, MIC法による結晶成長の機構を解明した.