[P] P137~P170

[P139] Molecular Dynamics Simulations of Ceramic Thin Film Formations via Vapor Deposition

*AKARI NAKAMURA¹, MASAYUKI OKUGAWA², YUICHIRO KOIZUMI² (1. Univ. Osaka, 2. Univ. Osaka)

Keywords:

セラミックス薄膜,スパッタリング,分子動力学計算

スパッタリング法によって作製されるセラミックス薄膜の形成過程を分子動力学シミュレーションによって解明する。