[P] P137~P170

[P139] 気相堆積法におけるセラミックス薄膜形成過程の分子動力学計算

*中村 朱里¹、奥川 将行²、小泉 雄一郎² (1. 阪大工（院生）、2. 阪大工)

キーワード：

セラミックス薄膜、スパッタリング、分子動力学計算

スパッタリング法によって作製されるセラミックス薄膜の形成過程を分子動力学シミュレーションによって解明する。