[P] P171~P184

[P175] Temperature and atmosphere dependence of hydrogen sensor characteristics
using SiNx-Pd/Y thin films

*Moe ITO¹, Yamaguchi Akira² (1. Iwate University, 2. Iwate University)

Keywords:

水素,薄膜,ガス雰囲気

SiNx-Pd/Y薄膜水素センサーについて、測定前後の雰囲気を変え、電気抵抗の時間変化を測定し、比較を行ったところ、測定前後のガス雰囲気が抵抗変化速度に大きな影響を与えることが分かった。