[P] P171~P184

[P175] SiNx-Pd/Y薄膜を用いた水素センサー特性の温度・雰囲気依存性

*伊藤 萌恵¹、山口 明² (1. 岩手大学(院生)、2. 岩手大学)

キーワード：

水素、薄膜、ガス雰囲気

SiNx-Pd/Y薄膜水素センサーについて、測定前後の雰囲気を変え、電気抵抗の時間変化を測定し、比較を行ったところ、測定前後のガス雰囲気が抵抗変化速度に大きな影響を与えることが分かった。