[P] P192~P211

[P210] Fabrication of GeSn alloys by severe plastic deformation under high pressure

*Keito TANAKA¹, Yoshifumi IKOMA¹, Makoto ARITA¹, Masamichi KOHNO¹, Taizoh SADOH² (1. Kyushu Univ. Eng., 2. Kyushu Univ. Eng. Sci.)

Keywords:

高圧巨大ひずみ加工,GeSn合金,半導体材料

環境に優しい半導体材料として注目されているGeSn合金について、Geの高圧相変態を利用した高圧巨大ひずみ加工による合金化を調査した。