[P] P192~P211

[P210] 高圧巨大ひずみ加工によるGeSn合金の作製

*田中 桂人¹、生駒 嘉史¹、有田 誠¹、河野 正道¹、佐道 泰造² (1. 九大院/工、2. 九大院/総理工)

キーワード：

高圧巨大ひずみ加工、GeSn合金、半導体材料

環境に優しい半導体材料として注目されているGeSn合金について、Geの高圧相変態を利用した高圧巨大ひずみ加工による合金化を調査した。