[P] P212~P240

[P236] Development of Standard Samples with Known Oxygen Content for Ion Beam Analysis: Towards High-Precision Quantification of Oxygen in Thin Films

*Naoki NAGASHIMA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:

薄膜,PLD,RBS,酸素定量

酸素含有量が低濃度領域の標準試料としてNi+Yb₂O₃薄膜を作製した。この薄膜を利用することにより、¹⁶O(α,α)¹⁶O共鳴とRBSを組み合わせた分析において、低濃度酸素(10%程度)を高精度に定量できることを示した。