[P] P212~P240

[P236] イオンビーム分析のための酸素含有量が既知な標準試料の開発: 薄膜試料の高精度な酸素定量に向けて

*永嶋 直樹¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：

薄膜、PLD、RBS、酸素定量

酸素含有量が低濃度領域の標準試料としてNi+Yb₂O₃薄膜を作製した。この薄膜を利用することにより、¹⁶O(α,α)¹⁶O共鳴とRBSを組み合わせた分析において、低濃度酸素(10%程度)を高精度に定量できることを示した。