[P] P212~P240

[P237] Preparation of Reference Samples for Nitrogen Quantification Using the ¹⁴N(α, α)¹⁴N Resonant Nuclear Reaction

*Daiki SHIMBORI¹, Naoki NAGASHIMA¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka University of technology)

Keywords:

薄膜,PLD,RBS,窒素共鳴,静電加速器

薄膜中の窒素含有量を高精度に定量する為、窒素共鳴核反応をRBSに適用することで、窒素の検出感度の倍増を目的とした。PLD法により、Cu+CrN２相薄膜の作製し、作成した試料をXRD、XPSにて分析を行った。