[P] P212~P240

[P237] ^１４Ｎ（α，α）^１４Ｎ共鳴核反応を利用した窒素定量用標準試料の作製

*新堀 大輝¹、永嶋 直樹¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技術科学大学)

キーワード：

薄膜、PLD、RBS、窒素共鳴、静電加速器

薄膜中の窒素含有量を高精度に定量する為、窒素共鳴核反応をRBSに適用することで、窒素の検出感度の倍増を目的とした。PLD法により、Cu+CrN２相薄膜の作製し、作成した試料をXRD、XPSにて分析を行った。