[P] P27~P55

[P54] Analysis of Silver Suboxides in Ag Thin Films Formed by Ar+O₂ Sputtering and Annealing

*Yoshito Taguchi¹, Makoto Arita², Yoshihumi Ikoma², Jungheum Yun³ (1. Kyushu Univ. Eng. (M), 2. Kyushu Univ. Eng., 3. KIMS)

Keywords:

電子顕微鏡

Ar+O₂スパッタリングで作製したAg薄膜をアニール処理することで、薄膜中にAgに加えてAg₃OやAg₁₂O₅といった亜酸化銀が形成され、Ag薄膜の比抵抗増加に寄与することがわかった。