[P] P27~P55

[P54] Ar+O₂スパッタリングおよびアニールによりAg薄膜中に形成した亜酸化銀の解析

*田口 義人¹、有田 誠²、生駒 嘉史²、Yun Jungheum³ (1. 九大工（院生）、2. 九大工、3. KIMS)

キーワード：

電子顕微鏡

Ar+O₂スパッタリングで作製したAg薄膜をアニール処理することで、薄膜中にAgに加えてAg₃OやAg₁₂O₅といった亜酸化銀が形成され、Ag薄膜の比抵抗増加に寄与することがわかった。