[P] P269~P297

[P282] Effect of Deposition Rate on Microstructure and EC Properties of Glancing-angle Evaporated InN Thin Films

*Taichi SAKAMA¹, Yousei Saito¹, Inoue Yasushi¹, Takai Osamu² (1. Chiba Inst. Technol, 2. SSAME)

Keywords:

薄膜,EC現象,窒化インジウム,蒸着,成膜速度

成膜速度の違いがInN薄膜中の不純物酸素量と表面の微細構造に影響を与え、EC特性の波長領域と変化量を変化させた。