[P] P269~P297

[P282] 斜入射蒸着InN薄膜の微細構造およびEC特性に対する成膜速度の影響

*坂間 太一¹、齋藤 陽聖¹、井上 泰志¹、高井 治² (1. 千葉工大工、2. 表面・超原子研)

キーワード：

薄膜、EC現象、窒化インジウム、蒸着、成膜速度

成膜速度の違いがInN薄膜中の不純物酸素量と表面の微細構造に影響を与え、EC特性の波長領域と変化量を変化させた。