[P] P269~P297

[P283] Effect of Deposition Angle in Adsorption-induced Electrochromic Phenomena of InN Films

*Watanabe MASAKI¹, Inoue Yasushi¹, Takai Osamu² (1. Chiba Inst. Technol, 2. SSAME)

Keywords:

蒸着装置,InN,窒化インジウム,吸着誘起型エレクトロクロミック,斜入射堆積

色変化を起こすEC現象を有するInNは色変化幅が分かっておらず実用化できない。窒化インジウムが実用化された場合、新たな表示デバイスとして応用が期待されており、色変化幅を決定する要因を探索している。