[P] P269~P297

[P283] InN薄膜の吸着誘起型エレクトロクロミック現象に対する成膜角度の影響

*渡邉 将騎¹、井上 泰志¹、高井 治² (1. 千葉工業大学大学院工学部専攻、2. 表面・超原子研)

キーワード：

蒸着装置、InN、窒化インジウム、吸着誘起型エレクトロクロミック、斜入射堆積

色変化を起こすEC現象を有するInNは色変化幅が分かっておらず実用化できない。窒化インジウムが実用化された場合、新たな表示デバイスとして応用が期待されており、色変化幅を決定する要因を探索している。