[P] P323~P356

[P323] Insulation of CrN thin films by solution of hydrogen

*Kouma TASHIRO¹, Tuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ of Tech)

Keywords:

薄膜,PLD,遷移金属窒化物,水素,電気伝導度

遷移金属窒化物の一種であるCrNを、水素を積極的導入した雰囲気化で成膜した。水素を多く取り込んでいると考えられるCrNでは、温度に対する電気的挙動が絶縁体的なものに変化した。