[P] P323~P356

[P323] 水素の固溶による窒化クロムの絶縁体化

*田代 康真¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技術科学大学)

キーワード：

薄膜、PLD、遷移金属窒化物、水素、電気伝導度

遷移金属窒化物の一種であるCrNを、水素を積極的導入した雰囲気化で成膜した。水素を多く取り込んでいると考えられるCrNでは、温度に対する電気的挙動が絶縁体的なものに変化した。