[P] P323~P356

[P324] Synthesis and hardness evaluation of single phase (Cr, Zn)(N, O) with double substitution of ZnO in CrN

*Kenta SUITANI¹, Tsuneo SUZUKI¹ (1. Nagaoka Univ. of Technol.)

Keywords:

薄膜,PLD,遷移金属窒化物

窒化クロム(CrN)は硬質薄膜として広く使用されている。本研究では、CrNに高圧相の酸化亜鉛(ZnO)を固溶させた単相のB1-(Cr,Zn)(N,O)薄膜を作製し、その硬度評価を目的とした。