[P] P323~P356

[P324] CrNにZnOを二重置換させた単相(Cr, Zn)(N, O)の合成とその硬度評価

*水谷 建太¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：

薄膜、PLD、遷移金属窒化物

窒化クロム(CrN)は硬質薄膜として広く使用されている。本研究では、CrNに高圧相の酸化亜鉛(ZnO)を固溶させた単相のB1-(Cr,Zn)(N,O)薄膜を作製し、その硬度評価を目的とした。