[P] P357~P369

[P366] Film growth of Sr_1-xNa_xH_2-y using H-radical reactive Infrared-laser deposition

*Fumiya MORI¹, Kouki Kawahara¹, Erika Fukushi¹, Hiroyuki Oguchi¹ (1. Shibaura Tech.)

Keywords:

ヒドリド伝導,水素化物薄膜

本研究では、Wフィラメントの長さを約2倍に延長して従来よりもラジカル水素が高濃度に存在する環境で成膜を実施した。また、赤外レーザーを二本備えた装置を新規に開発してSrH2薄膜へのNaドープに挑戦した。