[P] P83~P111

[P101] Fabrication and Subsequent Lift-Off of Through-Hole Porous Alumina
via Low Current Electrochemical Method

*Takumi Koguchi¹, Hagiwara Yoshiya¹, Miyamoto Masayuki², Kikuchi Tatsuya² (1. 北大工（院生）、2. 北大工)

Keywords:

アルミニウム,アノード酸化,ポーラスアルミナ,メンブレンフィルター,ナノ材料

ナノポーラスアルミナ形成アルミニウム試料に微小電流を印加して底部のバリヤー層を溶解・貫通孔化することにより、高アスペクト比のナノ細孔からなるスルーホールメンブレンの作製を試みた。