[S4] S4.New Materials Science on Nanoscale Structures and Functions at Crystal Interface(2)

4:10 PM - 4:25 PM JST(7:10 AM - 7:25 AM UTC)

[S4.26] Nanoscale evaluation of light illumination and doping effect on dislocation behavior in gallium phosphide single crystals

*Kinoshita Ryosuke¹, LI Yan², Tochigi Eita³, Nakamura Atsutomo² (1. UOsaka, 2. UOsaka, 3. UTokyo)

Keywords:

転位,ナノインデンテーション,化合物半導体,光,ドーピング

異なるドーピングを持つ燐化ガリウムに対して光インデンテーション試験を行い、転位挙動に及ぼす光照射およびドーピングの影響を調査した．試験結果より転位の生成と運動に異なる影響を与えることが示唆された。