[S4] S4.界面ナノ構造と機能の材料科学(2)

16:10 〜 16:25

[S4.26] 燐化ガリウムの転位挙動に与える光環境およびドーピングの影響のナノスケール評価

*木下 凌輔¹、李 燕²、栃木 栄太³、中村 篤智² (1. 阪大（院生）、2. 阪大、3. 東大)

キーワード：

転位、ナノインデンテーション、化合物半導体、光、ドーピング

異なるドーピングを持つ燐化ガリウムに対して光インデンテーション試験を行い、転位挙動に及ぼす光照射およびドーピングの影響を調査した．試験結果より転位の生成と運動に異なる影響を与えることが示唆された。