[P] P85~P95

[P95] Microstructure of Ru films

*Tomoki NOGUCHI¹, Chihiro IWAMOTO², Takatoshi NAGANO², Rikuto WATANABE³ (1. Ibaraki Univ., 2. Ibaraki Univ., 3. Ibaraki Univ.)

Keywords:

TEM,Ru膜,微細組織

製膜時の基板温度が異なる3つのRu膜の微細組織を明らかにするため、結晶の形態、配向性などについて詳細な観察、解析を行った。基板温度の変化とともにRu膜の微細組織が大きく変化していることが確認された。