[P] P85~P95

[P95] Ru膜の微細組織

*野口 知希¹、岩本 知広²、永野 隆敏²、渡邉 陸人³ (1. 茨城大工（学生）、2. 茨城大理工、3. 茨城大理工（院生）)

キーワード：

TEM、Ru膜、微細組織

製膜時の基板温度が異なる3つのRu膜の微細組織を明らかにするため、結晶の形態、配向性などについて詳細な観察、解析を行った。基板温度の変化とともにRu膜の微細組織が大きく変化していることが確認された。