[G] Melting and solidification process/High temperature process

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[99] Growth Behavior of AlN Crystals Using Molten SUS304L Flux

*Makoto OHTSUKA¹, Masayoshi ADACHI¹, Hiroyuki FUKUYAMA¹ (1. IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:

窒化アルミニウム,溶液成⻑法,結晶成⻑,鉄－クロム－ニッケル合⾦,溶解度

市販のSUS304L合金をフラックスとして⽤いた溶液成長法によりAlN膜を製膜したサファイア基板上にAlN結晶を作製し，その成長挙動に及ぼす成長条件 (成長開始温度，冷却速度など) の影響について報告する．