講演情報

10:45 〜 11:00

[99]溶融SUS304Lフラックスを用いたAlN結晶の成長挙動

*大塚誠¹、安達正芳¹、福⼭博之¹ (1. 東北大多元研)

窒化アルミニウム、溶液成⻑法、結晶成⻑、鉄－クロム－ニッケル合⾦、溶解度

市販のSUS304L合金をフラックスとして⽤いた溶液成長法によりAlN膜を製膜したサファイア基板上にAlN結晶を作製し，その成長挙動に及ぼす成長条件 (成長開始温度，冷却速度など) の影響について報告する．