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[239]Changes in Physical Properties during Crystallization of Sputtered VTe2 Thin Films

*Shuhei Orihara1, Shuang Yi1,2, Daisuke Ando1, Yuji Sutou1,2 (1. Tohoku Univ. (Eng), 2. Tohoku Univ. (AIMR))

Keywords:

薄膜,VTe2,遷移金属ダイカルコゲナイド,スパッタリング

本研究では、二次元材料の遷移金属ダイカルコゲナイドの一つであるVTe2薄膜をRFマグネトロンスパッタリングによって成膜し、相変化にともなう物性変化を調査した。

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