講演情報

13:00 〜 13:15

[239]VTe₂スパッタリング薄膜の結晶化に伴う物性変化

*折原周平¹、双逸^1,2、安藤大輔¹、須藤祐司^1,2 (1. 東北大工、2. 東北大AIMR)

薄膜、VTe₂、遷移金属ダイカルコゲナイド、スパッタリング

本研究では、二次元材料の遷移金属ダイカルコゲナイドの一つであるVTe₂薄膜をRFマグネトロンスパッタリングによって成膜し、相変化にともなう物性変化を調査した。