[G] 電子材料・テラヘルツ光

13:00 〜 13:15

[239] VTe₂スパッタリング薄膜の結晶化に伴う物性変化

*折原 周平¹、双 逸^1,2、安藤 大輔¹、須藤 祐司^1,2 (1. 東北大工、2. 東北大AIMR)

キーワード：

薄膜、VTe₂、遷移金属ダイカルコゲナイド、スパッタリング

本研究では、二次元材料の遷移金属ダイカルコゲナイドの一つであるVTe₂薄膜をRFマグネトロンスパッタリングによって成膜し、相変化にともなう物性変化を調査した。