[G] Analysis/Characterization/Evaluation

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)

[352] Quantitative Evaluation of the Observable Specimen Thickness in 4H-SiC using High Voltage Electron Microscopy

Kotaro Hosono¹, Syunya Takagi², *Kazuhisa Sato² (1. Grad. Sch. Eng., Osaka Univ., 2. UHVEM, Osaka Univ.)

Keywords:

超高圧電子顕微鏡,観察可能試料厚さ,4H-SiC,色収差,転位

4H-SiC楔形試料を用いて超高圧電子顕微鏡による観察可能試料厚さの定量評価を行った。転位線幅を観察可能厚さ評価の指標とした。1MV-STEMを用いると、5μm厚試料の微細組織解析が可能であることが判明した。