[G] 分析・解析・評価

10:30 〜 10:45

[352] 超高圧電子顕微鏡による4H-SiCにおける観察可能試料厚さの定量評価

細野 航太郎¹、高木 空²、*佐藤 和久² (1. 阪大院工(院生)、2. 阪大電顕セ)

キーワード：

超高圧電子顕微鏡、観察可能試料厚さ、4H-SiC、色収差、転位

4H-SiC楔形試料を用いて超高圧電子顕微鏡による観察可能試料厚さの定量評価を行った。転位線幅を観察可能厚さ評価の指標とした。1MV-STEMを用いると、5μm厚試料の微細組織解析が可能であることが判明した。