[G] Surface ,Interface and Catalysts

4:30 PM - 4:45 PM JST(7:30 AM - 7:45 AM UTC)

[73] Transmission Electron Microscopic Observation of Porous Silicon Fabricated by Metal-Assisted Etching: Structure Formation under Catalysts

○Naoki Fukumuro¹, Soshi Taniguchi^1,2, Ayumu Matsumoto¹, Shinji Yae¹ (1. Univ. of Hyogo, 2. TOYO SEIKI Co., LTD.)

Keywords:

Porous Silicon,Metal-Assisted Etching,Au nano-particles,Transmission Electron Microscope

貴金属触媒を修飾したシリコン(Si)を過酸化水素(H₂O₂)などの酸化剤を含むフッ化水素酸(HF)水溶液に浸漬すると，Si表面に多孔質層が形成される．この現象を金属援用エッチングと呼び，低コストで多様性のある半導体微細加工技術として注目されている．一方で，エッチング挙動は処理条件によって大きく変化するため，メカニズムの全容は明らかになっていない．本研究では，金属援用エッチングにより作製した多孔質Siの断面構造を透過電子顕微鏡(TEM)によって観察した．